Beth yw ffotolithograffeg?
Ffotolithograffeg yw un o'r prosesau pwysig wrth gynhyrchu cylchedau integredig (ICs neu sglodion). Yn syml, dywedwch, dyma'r broses o gopïo patrwm cylched ar swbstrad trwy ddefnyddio'r mwgwd ffoto a'r ffotoresydd.
Bydd y swbstrad yn cael ei beintio ar haen insiwleiddio silicon deuocsid a ffotoresist. Gellir diddymu'r photoresist yn hawdd gyda datblygwr ar ôl bod yn agored i olau UV, ar ôl diddymu ac ysgythru, bydd y patrwm cylched yn cael ei adael ar y swbstrad.
Beth yw Photoresist? Pam mae'n rhaid atal tonfedd UV 500nm?
Mae ffotoresist wedi'i gyfuno â resinau, toddyddion ac ychwanegion. Amrediad golau sensitif ffotoresydd yw 200nm-500nm. Felly, bydd llawer o labordy lled-ddargludyddion yn mabwysiadu golau melyn sy'n blocio tonfedd UV 500nm i atal y ffotoresistiaid sy'n rhy agored neu'n agored i sefyllfaoedd cynamserol.
